SEMI T7 是什麼？（完整定義）
SEMI T7-0302（正式全名：SEMI T7 — Specification for Back Surface Marking of Double-Side Polished Wafers with a Two-Dimensional Matrix Code Symbol）由國際半導體產業協會 SEMI 官方 發布、定義的是雙面研磨矽晶圓（Double-Side Polished Wafer）背面雷射蝕刻 2D DataMatrix 條碼的幾何形狀、大小、內容規範。
此標準 相容於 Data Matrix ISO/IEC 16022 ECC200、內建 Reed-Solomon 錯誤更正、即使晶圓表面因 CMP（Chemical Mechanical Planarization）拋光、edge bead、蝕刻等製程導致標識部分退化、仍可透過錯誤更正還原完整資訊。
為什麼半導體業要用 T7 CODE？ 每片晶圓在 300+ 道製程中身分不可混淆、傳統 OCR 字元標識抗磨損能力差、T7 DataMatrix 用 dot 陣列 + 錯誤更正、即使部分毀損仍可讀取、達成 100% wafer traceability（晶圓可追溯性）。
SEMI T7 規格總覽
| 項目 | 規格 |
|---|---|
| 標準版本 | SEMI T7-0302（現行有效版） |
| 條碼類型 | 2D Data Matrix（ECC200、Reed-Solomon 錯誤更正） |
| 符號尺寸 | 8 rows × 32 columns dot 陣列（矩形、非正方形） |
| 符號寬度 | 約 1 mm × 高度約 4 mm（依模組尺寸） |
| 適用晶圓 | 300 mm / 450 mm 雙面研磨矽晶圓（Double-Side Polished） |
| marking 位置 | 晶圓背面（back surface）固定 quality area 內 |
| marking 方式 | 雷射蝕刻（laser scribing） |
| 相容 SEMI 標準 | 相容 SEMI M1（矽晶圓規格）、與 SEMI OCR 字型可並用 |
來源：SEMI T7-0302 官方標準 + Cognex In-Sight 1740 Series 中文 datasheet（Lit. No. ISDS-1006-02-2025）
T7 CODE 跟一般 DataMatrix 有什麼不同？
兩者的核心編碼技術都是 Data Matrix ECC200、但 T7 是 SEMI 為半導體晶圓特別客製化的子集：
| 面向 | SEMI T7 | 一般 DataMatrix ECC200 |
|---|---|---|
| 符號形狀 | 固定 8×32 矩形 | 10×10 到 144×144 多種可選 |
| marking 位置 | 晶圓背面固定 quality area | 任意位置 |
| 應用產業 | 半導體晶圓專用 | 通用（醫療、汽車、電子、藥品 UDI 等） |
| 推薦讀取器 | Cognex In-Sight 1740 系列（IS1741 / IS1742） | Cognex DataMan 280 / 380 / 470 系列 |
| 產線速度 | wafer sorter / prober tool 節拍 | 依 DataMan 型號 100-1000+ 件/分 |
T7 CODE 讀取硬體推薦
Cognex In-Sight 1740 系列 出廠即支援 SEMI T7 DataMatrix 讀取、業界最普遍部署。系列三個型號：
IS1740
1/3" CMOS、752×480、Red LED 633nm、入門款
IS1741 ★ 主力
1/3" CCD、1024×768、Red LED 622nm、SEMI T7 + OCR + BC412 全支援
IS1742
1/3" CCD、1024×768、IR LED 880nm、超薄氧化物 / 氮化物塗層晶圓
來源：Cognex In-Sight 1740 Series datasheet（Lit. No. ISDS-1006-02-2025）
SEMI T7 常見問題 Q&A（工程師 FAQ）
Q1：T7 CODE 跟 SEMI T7 是同一件事嗎？
是的、業界口語 T7 CODE、正式標準名稱 SEMI T7-0302、完整全名 SEMI T7 — Specification for Back Surface Marking of Double-Side Polished Wafers with a Two-Dimensional Matrix Code Symbol。三者指的是同一標準、只是說法不同。「T7 DataMatrix」也是同義詞、強調條碼類型是 DataMatrix。
Q2：SEMI T7 一定是 8×32 dot 嗎？
是。SEMI T7-0302 明確規範所有符合此標準的 Data Matrix 符號都是 8 rows × 32 columns 矩形、與一般 DataMatrix ECC200 可選 10×10 到 144×144 多種尺寸不同。這是為了在晶圓 quality area 內佔用最少空間、又能保留 Reed-Solomon 錯誤更正能力。
Q3：T7 CODE 讀不到要怎麼排解？
常見原因有 3 類：(1) 光源角度不對（晶圓背面 laser mark 對光源反射敏感、明視場 vs 暗視場需依材質切換）；(2) 解析度不足（T7 標準每個 dot 需約 3 像素表示、視野大時單像素代表更寬區域）；(3) 製程退化（CMP、edge bead、晶粒刻劃圖案降低 dot 對比）。詳見 T7 讀取失敗排解 7 步驟。
Q4：一般 DataMan 條碼讀取器可以讀 T7 嗎？
技術上可以（T7 是 DataMatrix ECC200 子集）、但實務上不推薦。原因：(1) DataMan 設計為多種 marking 通用、沒針對 wafer 表面反射特性優化；(2) Cognex In-Sight 1740 系列出廠有 12 種內建晶圓專用照明模式（明視場 + 暗視場）、DataMan 只有基本照明；(3) 半導體廠設備通訊協定（Tokyo Electron TEL / Accretech TSK / Electroglas EG / LKx5）In-Sight 1740 系列原廠支援、DataMan 需額外整合。詳見 IS1741 產品頁。
Q5：SEMI T7 只適用 300mm 晶圓嗎？450mm 呢？
SEMI T7-0302 標準同時涵蓋 300mm 與 450mm 雙面研磨矽晶圓、只要符合 SEMI M1 規格皆適用。實務上目前產線以 300mm 為主流、450mm 因量產線建置成本高目前仍少見、但標準已預留。
Q6：T7 讀取除了 DataMatrix 還會用到什麼？
Cognex In-Sight 1740 系列常同時搭配 SEMI OCR 字型讀取（人類可讀字元、通常刻在晶圓正面 flat/notch 附近）作為備援讀取（fallback）：先讀 T7 DataMatrix、失敗時自動退到 OCR 字元。這樣讀取率可從單一模式的 ~95% 提升到雙備援的 ~99.9%。詳見 SEMI OCR checksum 計算指南。
Q7：VSK 有 SEMI T7 讀取器可以評估嗎？
VSK 是 Cognex Partner System Integrator (PSI) 認證代理、提供 Cognex In-Sight 1740 / 1741 / 1742 系列晶圓讀碼器完整銷售 + 整合服務。VSK 提供免費需求評估、可與 VSK 工程師討論具體 wafer marking 條件、光源選型、通訊協定整合。聯絡 VSK 工程師 →
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