為什麼 T7 CODE 讀不到？根因 3 大類
Cognex In-Sight 1741 / 1742 讀不到 SEMI T7 CODE 通常有 3 大類根因：
- (A) 成像條件不足：光源角度不對、解析度不夠、視野設定錯 （常見比例最高）
- (B) 製程退化影響：CMP 拋光導致 dot 對比降低、edge bead、晶粒刻劃圖案、超薄塗層降低反射率 （第二常見）
- (C) 系統設定問題：觸發時序不對、演算法閥值設錯、韌體版本過舊 （其餘常見類別）
取像檢查：OCR／DataMatrix 讀取失敗時，先確認光源、對比、焦點與符號完整性，再檢查觸發及讀取設定。排解順序：光源 → 解析度 → 製程 → 時序 → 演算法 → 韌體，逐項比較影像與讀取結果。
Step 1 · 光源角度診斷（最常見原因）
Cognex In-Sight 1741 提供 11 種內部照明模式（明視場／暗視場），另可接 1 種外部暗視場照明。不同 wafer 表面材質對光源反應不同：
| wafer 表面 | 建議光源模式 |
|---|---|
| 拋光矽晶圓（Si polished） | 暗視場（避免 hot spot 反光） |
| CMP 拋光後 (低對比 dot) | 暗視場 + 影像增強濾鏡 |
| 藍寶石基板（sapphire） | 暗視場 + 特殊角度 |
| 超薄氧化物 / 氮化物塗層 | IR 紅外光（切換 IS1742） |
| 聚醯亞胺塗層 | IR 紅外光 |
光源檢查：在 Wafer ID 介面逐一比較可用照明模式，確認符號對比、邊緣與飽和區域，再保存讀取設定。外部暗視場須搭配相應照明與接線。來源：Cognex In-Sight 1740 Series datasheet，ISDS-1006-02-2025，照明模式規格。
Step 2 · 解析度 3 像素檢核
先量測實際 dot 直徑，計算它在影像中所占像素；本例以每個 dot 約 3 像素作取像評估目標，實際讀取仍須驗證焦點、對比及符號品質。IS1741／1742 解析度為 1024×768，IS1740 為 752×480。
計算方法：
- 先量實際 T7 符號的寬、高與 dot 直徑，確認全符號及周邊留白落在影像內
- 算例：假設 dot 直徑為 125 μm，作為本次取像評估條件
- 以 dot 占 3 像素為本例目標：125／3 ≈ 41.7 μm／pixel
- 若視野寬 60 mm、橫向 1024 像素，物方像素約 58.6 μm，125 μm dot 約占 2.1 像素 ，未達本例 3 像素目標；視野寬縮為 30 mm 時約占 4.3 像素。視野高度、照明範圍與工作距離須一併確認
解析度檢查：量測視野寬度並以橫向像素數計算物方像素大小；若 dot 像素不足，依讀取器的工作距離與照明範圍調整成像，確認全符號、焦點與對比後再讀取。
Step 3 · CMP 磨損 / edge bead 排解
晶圓在 CMP (Chemical Mechanical Planarization) 之後、T7 dot 對比會顯著下降（拋光同時磨到 laser mark 邊緣）。edge bead（晶圓邊緣殘留光阻或化學膜）也會造成局部反射異常。
排解 3 招：
- 啟用 Cognex 影像增強濾鏡（datasheet 明確功能）：可改善部分低對比影像，需以實際影像確認讀取結果
- 切換到暗視場：明視場對低對比 dot 反應差、暗視場能凸顯 laser 蝕刻邊緣
- 利用 Reed-Solomon 錯誤更正：SEMI T7 內建錯誤更正、即使 dot 有部分損毀仍可能還原、具體容錯能力依 Reed-Solomon 錯誤更正機制與實際損毀分佈而異；須保留足夠的定位圖樣及可用資料，不能按可見 dot 比例保證還原
來源：Cognex In-Sight 1740 Series datasheet 圖像增強濾鏡章節 + SEMI T7-0302 Reed-Solomon 章節
Step 4 · 觸發時序驗證
Cognex In-Sight 1740 系列觸發前緣與開始採集之間有 6 ms 延遲、最小輸入脈衝 1 ms 寬（datasheet 明確規格）。半導體設備（TEL / Accretech / EG）發送觸發時如果時序不對、會導致：
- 晶圓還在移動時採集 → 影像模糊
- 觸發訊號太短 (< 1 ms) → 系統沒收到觸發
- 觸發訊號太早 → 晶圓尚未定位到讀取視野
觸發檢查：比對 PLC 觸發訊號、晶圓到位訊號與採集影像，確認脈衝寬度 ≥ 1 ms，並使採集時刻落在晶圓穩定到位後；必要時由設備控制端調整觸發時序。
Step 5 · 演算法設定調校
Cognex In-Sight 1740 系列內建 Auto-tune 功能（datasheet 明確功能）：可自動優化設定以讀取具挑戰性的晶圓標識、無須高級操作訓練。
調校 SOP：
- 在 In-Sight Explorer Wafer ID 介面開啟讀取設定
- 執行「Auto-tune」（工件檔內建功能）
- 以 Auto-tune 優化讀取設定，比較照明、曝光與影像增強後的讀取表現
- 將 Auto-tune 結果儲存到工件檔案（單一工件檔可包含 最多 50 種讀取設定、應對混合批次晶圓）
來源：Cognex In-Sight 1740 Series datasheet 自行優化設定 + 自學習設定章節
Step 6 · 韌體版本確認
Cognex In-Sight 1740 系列 韌體需 4.5.0 或更高版本（datasheet 明確要求）；此為系列最低韌體要求。T7／OCR 等讀取格式須依實際型號及設定確認，既有設備更新前先核對版本相容性並備份。
檢查 SOP：
- In-Sight Explorer → 裝置資訊 → 韌體版本
- 若版本低於最低要求，先與 VSK 工程師確認適用的 Wafer ID 韌體、設備相容性及設定備份
- 依所選韌體的更新程序執行，保留原工件檔與通訊設定
- 更新後重新載入 工件檔、Auto-tune 一次
來源：Cognex In-Sight 1740 Series datasheet 相容性章節
Step 7 · T7 + OCR fallback 備援
當同一晶圓同時具有 T7 DataMatrix 與可讀取的 SEMI OCR 字元，且內容對應同一識別碼時，可在 Wafer ID 中配置T7 與 SEMI OCR 的多組讀取設定，再由設備控制端規劃讀取優先序。
設定 SOP：
- 在 Wafer ID 分別建立 T7 與 SEMI OCR 讀取設定，使用實際晶圓驗證兩組結果
- 由設備控制端設定 T7 失敗後的 OCR 讀取流程及逾時判定
- 核對 OCR 的 SEMI checksum 字元與 T7 解碼字串長度，統一 PLC 識別碼比對規則，避免同一晶圓被判為不同編號
效果：T7 + OCR 雙備援讀取可顯著提升整體讀取率、實際數值依 wafer 表面 marking 品質、fab 環境而異。
常見問題 FAQ
Q1：IS1741 讀不到 T7 CODE、第一步先檢查什麼？
先檢查光源模式。Cognex In-Sight 1741 提供 11 種內部照明模式（明視場／暗視場），另可接外部暗視場照明。CMP 後低對比 dot 可比較暗視場與影像增強效果，在 Wafer ID 介面保存穩定的讀取設定。詳見 Step 1。
Q2：T7 DataMatrix 每個 dot 需要多少像素才讀得到？
先量實際 dot 直徑，本例以每個 dot 約 3 像素作取像評估目標。以 125 μm dot、IS1741／1742 的 1024 橫向像素試算：視野寬 60 mm 時約占 2.1 像素，寬 30 mm 時約占 4.3 像素。須同時確認全符號、照明範圍、工作距離與焦點。詳見 Step 2。
Q3：CMP 後 T7 dot 對比嚴重降低、還救得回來嗎？
可先比較三項條件：(1) Cognex 影像增強濾鏡對低對比區域的改善；(2) 暗視場照明下的蝕刻邊緣；(3) Reed-Solomon 錯誤更正可用的定位圖樣及資料。能否還原取決於符號內容與損毀分布，不能按可見 dot 比例保證讀取。詳見 Step 3。
Q4：Cognex 1740 系列有 Auto-tune 嗎？怎麼用？
有。In-Sight 1740 系列提供 Auto-tune，可優化具挑戰性的晶圓標識讀取設定。單一工件檔可包含最多 50 種讀取設定；自學習功能可在既有設定讀取失敗時調整照明及影像濾鏡，並保存成功設定。詳見 Step 5。
Q5：T7 真的讀不到、可以退到 OCR 讀嗎？
同一晶圓須同時具有對應同一識別碼的 T7 與 OCR 標識，才可配置 T7 + SEMI OCR 備援讀取。在 Wafer ID 分別建立讀取設定，由設備控制端規劃優先序，並核對 OCR 的 SEMI checksum 與 T7 字串長度。詳見 Step 7。
Q6：IS1741 韌體版本要哪一版才支援 SEMI T7？
原廠型錄列 In-Sight 1740 系列最低要求為韌體 4.5.0 或更高版本，這是系列最低韌體條件；T7 等格式另依型號與讀取設定確認。更新前先備份工件檔及通訊設定，與 VSK 工程師確認相容版本。詳見 Step 6。
Q7：以上都試過還讀不到、可以請 VSK 協助評估嗎？
可以。VSK 是 Cognex Partner System Integrator (PSI) 認證系統整合商，可與 VSK 工程師討論 wafer marking 特性、fab tool 通訊配置與光源選型。聯絡 VSK 工程師 →
相關資源
需要 Cognex wafer 讀碼器解決方案？
VSK 是 Cognex 官方 PSI 認證代理、提供 In-Sight 1740 系列（IS1741 主力）完整選型 + 整合服務。