跳到主要內容
VSK 威視康 — Cognex 官方授權 PSI 系統整合商

SEMI OCR Checksum 設定與 Pass/Fail 判斷指南

Cognex In-Sight 1741 / 1742 wafer OCR 設定與判定 + 失敗現象對照 · 工程師實務手冊

一句話:SEMI OCR Checksum 用來核對晶圓 ID 的校驗字元,須先依標識配置 SEMI、SEMI with Virtual 或 Virtual。判讀時一併檢查字元與接受門檻;Checksum Pass 仍可能出現多字元誤讀。

為什麼需要 SEMI OCR Checksum?

晶圓 ID 誤讀可能造成身分或製程資料對應錯誤。SEMI checksum 用來核對字串附帶的校驗字元,協助檢查讀取一致性;它不是防止所有誤讀的保證。

  • 未做適用的 checksum 檢查:少了一項字串校驗,仍須依門檻及設備端規則檢查結果。
  • 使用適用的 checksum:可檢出不一致,但多字元誤讀仍可能通過 SEMI;異常處理須配合設備端流程。

Cognex In-Sight 1741 / 1742 內建 Checksum 選項,必須先依實際標識設定;不是所有 wafer OCR 一律自動套用 SEMI。

SEMI 字符集規範

以下區分 SEMI OCR 字型與標識標準;字元集合及長度應依實際標識與 Field String 確認:

字符集內容用途
SEMI OCR 標準字元集合依標識字型及 Field String 設定wafer 正面 flat/notch ID
SEMI M12/M13 字符SEMI M12/M13 OCR 標識wafer lot / slot ID
SEMI M1.15 字符SEMI 字型及 T7 Data Matrix 標識依標識配置讀取方式

來源:Cognex In-Sight 1740 Series datasheet Lit# ISDS-1006-02-2025 讀碼能力章節

SEMI Checksum 由 Cognex 自動執行

Cognex In-Sight 1741 / 1742 已提供 SEMI Checksum 驗證,工程師不需另寫演算法;只對含 SEMI checksum 的 OCR 標識選 SEMI 或 SEMI with Virtual。未附此 checksum 的字串,依原廠建議選 Virtual。

實務重點:SEMI checksum 通常是字串末端兩個字元。選 SEMI 或 SEMI with Virtual 時,Field String 要配置 C、S;例如 12 字元標識為 **********CS。先以標識規格核對,不把字尾外觀當成完整證明。

設定來源:Cognex Wafer ID〈Determine the Appropriate Checksum for Reading SEMI OCR〉及〈Pass SEMI Checksum Despite Misreading of SEMI OCR〉(2024)。可與 VSK 工程師討論標識格式與設定。

Pass/Fail 判斷邏輯

Cognex In-Sight 1741 wafer OCR 排查時,分開核對字元門檻、接受門檻與 Checksum 配置:

  1. 字元門檻(Character Threshold):逐字核對目前 Job 的門檻,不能只看接受分數。
  2. 接受門檻(Accept Threshold):依目前 Config 的設定判讀,不自行假設為字元分數的平均值。
  3. Checksum:依標識選 SEMI、SEMI with Virtual 或 Virtual,並核對 Field String。

判讀方式:使用目前 Job/Config 的門檻及所選 Checksum 規則。注意:SEMI checksum 通過不保證沒有多字元誤讀,仍要核對已知字串及設備端資料。

常見失敗現象對照

錯誤現象層級排解方向
個別字符分數 < 閥值字元門檻調光源 / 焦距 / 增益
未達目前 Accept Threshold接受門檻整體對比不足、Auto-tune
Checksum 不符 (但分數 pass)Checksum先核對標識是否含 SEMI checksum 及 Field String
Checksum 選項未開設定核對目前 Config 的 Checksum 與實際標識

IS1741 讀取分數 vs Checksum 差異

兩個常被工程師搞混:

  • 讀取分數 (OCR Score):0-100、單字符信心值、看的是「像不像這個字元」
  • Checksum:核對所選校驗規則,不能單獨證明晶圓身分正確。

可能組合:顯示分數高但 Fail,應查逐字 Character Threshold 或錯配的 Checksum;SEMI checksum 已 Pass 但字串誤讀,可評估 SEMI with Virtual 及較嚴格的 Character Threshold。不要僅憑高分或 checksum 結果判定真實字串。

實務排解 5 步驟

  1. 檢查 Checksum 設定:確認實際標識是否含 SEMI checksum,再選 SEMI/SEMI with Virtual/Virtual。
  2. 記錄失敗設定:記錄 Config、逐字分數及現用門檻,逐項核對失敗原因。
  3. 檢查字元分數:字元分數未達 Character Threshold 時,先調整光源、焦距與成像條件。
  4. 檢查接受門檻:使用目前 Accept Threshold 及 Config 結果,避免自行重算平均值。
  5. 檢查校驗字元:選 SEMI 驗證時核對 Field String 的 C、S;若多字元誤讀仍 Pass,可評估 SEMI with Virtual。

常見問題 FAQ

Q1:什麼是 SEMI OCR Checksum?

SEMI OCR Checksum 用來核對晶圓 ID 所附的校驗字元,通常位於字串末端的兩個字元。Cognex In-Sight 1741 / 1742 提供對應選項,但需先依標識配置;Checksum Pass 不代表絕無誤讀。詳見 為什麼需要 SEMI OCR Checksum。

Q2:SEMI Checksum 工程師需要自行實作嗎?

不需另寫驗證演算法。Cognex Wafer ID 已提供 SEMI、SEMI with Virtual 及 Virtual;工程師須核對標識是否含 SEMI checksum、Field String 及目前門檻,再設定讀取 Config。

Q3:為什麼 OCR 讀取分數高、Checksum 卻 Fail?

先核對讀出的字串與實際標識,以及標識是否含 SEMI checksum。未附此 checksum 的字串若設 SEMI 或 SEMI with Virtual,可能因模式不符失敗;若已含 checksum,仍要檢查字元與 Field String。詳見 分數 vs Checksum。

Q4:IS1741 Wafer OCR Pass/Fail 要核對哪些設定?

分開核對 Character Threshold、Accept Threshold 與 Checksum 配置。前兩者是分數設定,Checksum 依標識選擇;不使用固定 60–80 或自行計算的字元平均值代替現用設定。詳見 Pass/Fail 判斷邏輯。

Q5:怎麼在 In-Sight Explorer 打開 Checksum 驗證?

在 Wafer ID Config 核對 Checksum:含 SEMI checksum 的字串選 SEMI 或 SEMI with Virtual,未含者依原廠建議選 Virtual。選 SEMI 驗證時,Field String 應包含 C、S;12 字元標識例如 **********CS。儲存後以已知字串驗證結果。

Q6:如果 SEMI Checksum 一直 Fail、可以請 VSK 協助嗎?

可以。VSK 是 Cognex Partner System Integrator (PSI) 認證代理,可協助 Wafer ID Job、標識格式、成像與 Checksum 配置評估。請提供實際字串、失敗影像及現用設定。聯絡 VSK 工程師 →

相關資源

需要 Cognex wafer 讀碼器解決方案?

VSK 是 Cognex 官方 PSI 認證代理、提供 In-Sight 1740 系列(IS1741 主力)完整選型 + 整合服務。